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高精準度流量計
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MFC(流量控制器)
商品簡介 》
流量： ２００ＳＬＭ、５００ＳＬＭ、１０００ＳＬＭ
流量制御：１０∼１００％ＦＳ
応答性：設定値２秒以内（Ｔｙｐｉｃａｌ）
精準度：０．２％ＦＳ
対象氣體：Ｎ２、Ａｉｒ、Ｈ２、ＣＨ４、Ａｒ他
基準校正圧力：０．５ＭＰａ（要指定）
備註 》
Crown
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